二氯硅烷 |
| 时间：2023-07-15 来源：化工号 作者：Cl2H2Si |
| 中文名 | 二氯硅烷
| | 英文名 | Dichlorosilane
| | 别名 | 三氯矽烷
二氯硅烷
电子级高纯二氯二氨硅
| | 英文别名 | dichlorsilane
DICHLOROSILANE
dichloro-silan
Dichlorosilane
dichlorosilane Cl2H2Si
siliconchloridehydride
dichlorosilane for high purity,electronic grade
| | CAS | 4109-96-0
| | EINECS | 223-888-3 | | 化学式 | Cl2H2Si
| | 分子量 | 101.01 | | 密度 | 1,22 g/cm3 | | 熔点 | −122 °C(lit.) | | 沸点 | 8.3 °C(lit.) | | 闪点 | -37°C | | 水溶性 | decomposes | | 蒸汽压 | 1254 mm Hg ( 20 °C) | | 蒸汽密度 | 3.5 (vs air) | | 稳定性 | Stable. Extremely flammable; note very wide explosion limits. Reacts violently with water, alcohols, strong oxidizing agents, bases. | | 外观 | 形态 colorless gas | | 物化性质 | 化学性质 无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。 | | 产品用途 | 用途 用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅 | | 危险品标志 | F+ - 极易燃物品
T - 有毒物品
| | 风险术语 | R12 - 极度易燃。
R14 - 遇水反应剧烈。
R23 - 吸入有毒。
R34 - 引起灼伤。
| | 安全术语 | S26 - 不慎与眼睛接触后，请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。
S36/37/39 - 穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。
S45 - 若发生事故或感不适，立即就医(可能的话，出示其标签)。
| | 危险品运输编号 | UN 2189 2.3 | | WGK Germany | 1 | | RTECS | VV3050000 | | FLUKA BRAND F CODES | 4.5 | | TSCA | Yes | | Hazard Class | 2.3 | | 上游原料 | 硅 三氯硅烷 高纯 电子 二氯二氢硅 |
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